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半导体超纯水设备:DI水(超纯水)的测试标准

来源:天津纯水设备      2021/11/10 13:52:03      点击:

天津纯水设备http://www.tjxqcs.cn】对于DI水的测试,需要精密的仪器和受控制的环境,如需要达到一定级别的无尘环境,专门的实验室等。不过大多数公司不可能投资巨额的资金去做该测试,将DI水送到有资格的外部实验室进行测试是一个可以考虑的做法。下面的内容就DI水的常用测试项目和方法做简单的介绍:

1、纯水设备电阻率测试(Resistivity test )

该测试要求DI水需要处于温度在25摄氏度状况下,多数情况下工厂可以在线监控该项测试,即可以在DI水的出水端安装一个电阻测试仪器,可以随时记录数据的变化。除了在线监控外,也可以送到实验中心进行测试。测试结果的判定可以根据产品的要求而定。如在电脑的磁头工厂,DI水是直接用来清洗产品的,所以要求非常高,一般要求在15---18MΩ·cm之间。测试方法是根据美国材料实验协会的标准(ASTM)。

2、蒸发后残留物测试(Residue after evaporation test

该测试是监控DI水残留物含量的测试,结果评估是看每升水中有多少ug残留物(ug/L),其依据是根据ASTM D5462 /F1094进行控制。

3、细菌测试(Bacteria test

该测试监控DI水中微生物的含量,表面上我们看到的是一杯非常透明的干净的水,其实在水里面有很多微生物的存在,相对来说,DI水中的微生物会比我们饮用的自来水中少很多,因为DI水的生产流程经过了多次过滤、消毒、紫外线杀菌等等过程。做该测试会耗时较长,具体做法是使用培养皿对DI水进行细菌培植,到一定的时数后再使用放大镜看DI水中有多少细菌生长出来。因为细菌需要养料才能生长,该测试就是根据该原理来测试细菌的数量。其判定结果是观测在100ml水中有多少个细菌,需要观测出不同大小的数量。

4、纯水设备液态尘粒测试(LPC test

该测试是监控DI水中一定粒径下粒子的含量,一般控制每毫升中离子的个数(个/ml)。该测试是DI水非常重要的一个测试,也是监控DI水的必测项目。在污染控制领域,一般对0.5um粒径的粒子的个数进行严格控制,如在电脑磁头行业的公司,一般标准控制在1000/ml。不过到底定什么样的标准,可以根据产品特性来对DI水的LPC做出限制,一般实验可以测试小到0.1um 350um的粒径。该测试方法是根据ASTM D4327/5542条款尽心操作。

5、硅油总量测试(Total Silica test

在多数的高科技产品生产中,对硅油是必须作出严格控制的,因为硅材料的分子特性可以对产品造成污染从而最终损坏该产品,所以该项测试是也是DI水非常重要的测试之一。测试结果一般是以每升水中含有多少微克的硅做为判定标准(ug/L)。该测试方法依据ASTM D5673D3919进行测试。对于测试结果的理解,需要特别作出说明,如果测试结果显示没有硅油,这并不是表示DI水中不存在硅油,而是测试结果没有超出测试标准中的敏感线(值)。

6、离子测试(Ionic content

该测试也是DI水非常重要的测试之一,主要监控DI水中各种阴阳离子的含量,测试结果一般用总量不超过多少微克来判定(ug/ml)。比较常见的离子有:氯离子、铁离子、钠离子、硝酸根离子、硫酸根离子、钙离子等。

 7、金属离子测试(Metal content test

该测试主要监控DI水中的金属离子的含量,测试结果一般用般用总量不超过多少微克来判定(ug/ml)。比较常见的离子有:钾离子、铁离子、钠离子、镁粒子、钙离子等等。监控金属离子是用来评估水的硬度是否合适。

8、溶解氧测试(Dissolved Oxygen

该测试主要是监控DI水中活性氧的含量,因为水中含氧量过高,会加速其它物质的氧化反应从而影响到终端产品。其结果评估一般看每升水中含有多少微克的活性氧(ug/l)。可以参考ASTMD5391进行控制和测试。

综上所述,我们对DI水进行各种不同类型的测试,其最终目的是为了终端产品的要求,根据不同产品类型可以有不同的测试项目和要求,以上几个方面的测试是最常用的几种测试方法。其它的如毒素测试(Endotoxin test),可溶解硅的测试(Dissolved silica test),总有机碳测试(TOC)等也时有用到。纯水设备北京纯水设备天津水处理设备天津去离子水设备医院用纯化水设备 实验室纯水设备医用GMP纯化水设备